超純水概念

超純水是為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，其電阻率大于18MΩ·cm，或接近18.3MΩ·cm極限值(25℃)。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。

工藝流程

（1）原水箱→原水泵→砂濾器→炭濾器→自動加藥阻垢裝置→保安過濾器→雙級反滲透膜組→RO純水箱→RO純水泵→紫外殺菌器→精密過濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降解儀→核級拋光混床→微孔過濾器→用水點  

（2）原水箱→原水泵→超濾裝置→超濾水箱→雙級反滲透膜組→RO純水箱→RO純水泵→紫外殺菌器→精密過濾器→EDI裝置→EDI氮封水箱→EDI純水泵→ TOC降解儀→核級拋光混床→微孔過濾器→用水點  

特別說明：

超純水在制備超純水后，要求輸送管道不能有析出物對超純水形成二次污染，否則將導致被清洗的芯片或電子設備受到污染而報廢。金屬管道不可避免有金屬離子析出，只有塑料管道較少（塑料材質管道需要控制TOC析出）。此類管道大多是安裝在純水車間的純水設備及純水車間到各用水車間點位上，連接方式也是粘接，需要clean-PVC專用膠水。在超純水系統中，一般終端管道采用clean-PVC。